FT9500X - Серия высокопроизводительных рентгено-флуоресцентных спектрометров для определения толщины и состава покрытий (Hitachi)

FT9500X - серия рентгенофлуоресцентных анализаторов толщины п состава покрытий. Недавно разработанная система рентгеновской фокусирующей оптики (капилляров) и рентгеновская трубка позволяет серии FT9500X достичь высокой интенсивности луча диаметром 30 мкм. Рентгено-флуоресцентные спектрометры FT9500X позволяют делать быстрое и точное измерение микро пятен на выводных рамках, соединителях и гибких подложках, что не возможно делать с помощью обычных рентгено-флуоресцентных анализаторов толщины покрытий, которым недостает точности из-за более низкой интенсивности облучения.

Рентгено-флуоресцентные спектрометры серии FT9500X могут облучать 1/5 площади по сравнению с серией FT9500, обеспечивая интенсивность такую же, как FT9500.

Измерение толщины тонких пленок и многослойных пленок
Серия рентгено-флуоресцентных спектрометров FT9500X оснащена новыми капиллярной (рентгеновской фокусирующей оптической) системой и рентгеновской трубкой, облучающей микро пятно на образцах с помощью сфокусированного пучка рентгеновских лучей диаметром 30 мкм, но при интенсивности, эквивалентной обычным приборам.
Серия рентгено-флуоресцентных спектрометров FT9500X позволяет измерять на площади микро пятна диаметром несколько десятков микрон при высокой  точности измерений, в то же время одновременно измеряя толщины покрытия для каждого слоя многослойных покрытий, таких как Au / Pd / Ni / Cu.

Анализ примесей
Луч высокой интенсивности в сочетании с детектором с высокой скоростью счета позволяют делать качественный анализ загрязняющих веществ. После того, как ПЗС-камера подтверждает расположение загрязнений качественный анализ ( от Al до U) примесей может быть выполнен путем определения различий между полученным спектром и опорным спектром.

Функция редактирования данных
Microsoft® Excel и Microsoft® Word предустановлены. Данные измерений, усредненные значение, максимальное и минимальное значение, значение коэффициента вариации могут быть вычислены с помощью функции статистической обработки Microsoft® Excel.
Отчет о результатах измерения включая изображение образца может быть легко получены с использованием Microsoft® Word

Высоко интенсивное освещение
Микро пятно можно четко наблюдать с использованием высокой интенсивности освещения, позволяющего легко регулировать положение.

Столик для образца
FT9550X позволяет разместить большую плату и поднос с образцами.

Модель	FT9500X	FT9550X
Элементы	Атомные № от 13(Al) до 83(Bi)
Рентгеновский источник	Напряжение: 50 кВ Сила тока: 1 мА
Детектор	Полупроводниковый детектор (не требует жидкого азота)
Система рентгеновской фокусирующей оптики	Капиллярная
Наблюдение образца	CCD камера с зумом
Фокусировка изображения образца	Лазерная указка
Фильтр	Фильтр для ультра тонких золотых (Au) пленок
Столик для образца (размер столика) (перемещение)	240(Ш) x 175(Г) мм X:220мм, Y:150мм, Z:150мм	420(Ш) x 330(Г) мм X:400мм, Y:285мм, Z:50мм
Контроллер	ПК с 19" LCD монитором
Программное обеспечение	Thin Film FP (Все типы тонких пленок: макс. x 5 слоев), Calibration Method (Метод калибровки)
Обработка данных	Microsoft® Excel, Microsoft® Word
Функции безопасности	Замок крышки отделения для образца
Опции:
• ПО Spectrum matching (Идентфикация материала)